Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究

【摘要】：在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上,用Sol-gel方法制备PZT(40/60)铁电薄膜,选择不同的后期退火温度和时间,研究其对薄膜的微结构、铁电性能的影响,建立了合适的退火条件。对于厚度2200■的PZT(40/ 60)铁电薄膜,剩余极化强度Pr=19.698μC/cm~2,可转向极化强度△P=32.51 1μC/cm~2。

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1	王春栋;滕保华;程登木;周飞;;两表面层铁电薄膜体介质层效应理论研究[J];四川师范大学学报(自然科学版);2011年05期
2	王松林;王泾文;孟广耀;;微波辅助Sol-gel法制备La_(0.7)Ca_(0.3)CrO_(3-δ)超细粉体及其烧结性能的研究[J];材料导报;2011年10期
3	李振豪;李琳;普朝光;;应用于非制冷焦平面器件上的PMN-PT铁电薄膜[J];硅酸盐学报;2011年09期
4	孟庆阳;唐向阳;刘锦洪;朱常桂;;Sol-Gel法制备大直径陶瓷UO_2球的工艺研究[J];核动力工程;2011年04期
5	田玥;唐艳学;石旺舟;;0.74Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.26PbTiO_3薄膜的光学性能研究[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
6	郭淑兰;王敏;徐学东;李佳;;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜的ICP刻蚀及性能研究[J];微电子学;2011年04期
7	王光明;张铭;李廷先;郭宏瑞;严辉;;氧压对脉冲激光沉积LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响[J];功能材料;2011年S2期
8	郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
9	王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	仇萍荪;丁爱丽;何夕云;罗维根;;Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2	陈辉;;非理想表面层对铁电薄膜极化率分布的影响[A];创新沈阳文集（B）[C];2009年
3	刘景和;曹莹;张亮;万玉春;曾繁明;;Sol-Gel制备Li_2B_4O_7薄膜及工艺的研究[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
4	朱建国;肖定全;刘洪;朱基亮;;多层纳米铁电薄膜介电增强机理[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5	王彪;;纳米铁电薄膜及其相关材料相变性能的尺寸效应研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
6	于艳菊;王福平;赵连城;;稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜[A];2002年材料科学与工程新进展（下）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
7	马运新;宋世庚;苏树兵;郑应智;;纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8	李金隆;张鹰;李言荣;邓新武;熊杰;;BST类铁电薄膜的最低晶化温度和自组装生长研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9	周易春;;无铅铁电薄膜及其存储器的制备和失效行为[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年
10	王华;李岩;;Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜Ⅰ-Ⅴ特性的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

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1	裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
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6	尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
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9	迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10	胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	柳擎;PZT铁电薄膜的掺杂改性研究[D];华中科技大学;2005年
2	周光惺;BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究[D];华中科技大学;2009年
3	张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
4	许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
5	吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
6	陈祝;Sol-Gel前驱单体法制备PZT铁电薄膜技术与性能研究[D];电子科技大学;2004年
7	杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
8	白刚;外延钙钛矿薄膜中铁电相变的唯象理论研究[D];汕头大学;2010年
9	姚东来;铁电薄膜的物理性质研究[D];苏州大学;2002年
10	王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前8条

1	闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
2	吴昌红吴红梅;我省三十多个项目登榜[N];新华日报;2006年
3	;“两院”入驻15位上海新院士[N];上海科技报;2005年
4	组稿责任编辑郭易楠;“阳光世博”助推新能源经济[N];上海科技报;2010年
5	任干生;纳米电子陶瓷材料面市[N];中国电子报;2000年
6	姚大鋆;江苏新侨自主创业创新成果喜人[N];新华日报;2007年
7	林黎民;西安交大重点学科名列高校前列[N];科技日报;2002年
8	;用MEMS方法制备麦克风刻不容缓[N];中国电子报;2009年

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