Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究
【摘要】:在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上,用Sol-gel方法制备PZT(40/60)铁电薄膜,选择不同的后期退火温度和时间,研究其对薄膜的微结构、铁电性能的影响,建立了合适的退火条件。对于厚度2200■的PZT(40/ 60)铁电薄膜,剩余极化强度Pr=19.698μC/cm~2,可转向极化强度△P=32.51 1μC/cm~2。
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