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BaTiO_3薄膜的Sol-gel法制备

彭会芬  谷南驹  
【摘要】:以二乙基已酸钡和钛酸丁酯为原料,采用Sol-gel法制备BaTiO_3薄膜,并借助于热分析、X-ray衍射以及扫描电镜研究了BaTiO_3薄膜的相变过程和组织结构。结果表明,利用该法制备的BaTiO_3薄膜其形成温度比采用常规原料(醋酸钡或氢氧化钡和.钛酸丁酯)低约200℃,并讨论了衬底材料对BaTiO_3薄膜的晶化温度和形貌的影响。

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