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压电陶瓷薄膜的原位水热化学制备

孟长功  王德和  崔立山  陶德宏  杨大智  
【摘要】:在NiTi形状记忆合金表面,利用合金中Ti元素作为Ti源,研究了水热条件下BaTiO_3、SrTiO_3和PbTiO_3压电陶瓷薄膜的原位制备工艺。采用水热化学法在120~200℃温度区间内、自生压力实现了陶瓷薄膜的原位制备。X射线衍射结果表明三种组成的薄膜均为立言钙钛矿结构;扫描电子显微镜观察表明薄膜具有较高的致密程度,表面粗糙度极小,晶粒尺寸分布在0.07~0.1μm左右的较窄范围内。断口形貌观察表明薄膜厚度约为1μm。制备薄膜的水热反应液中,溶液阴离子种类、阳离子浓度和酸度对薄膜的生成及晶粒尺寸有显著影响。力学性能测试结果表明薄膜与基体间有极强的结合力。

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