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金刚石薄膜光学参数的测定与模拟计算

郑昌琼  冉均国  禹争光  蒋书文  苟立  
【摘要】:采用微波等离子体CVD法制备了金刚石薄膜。研究了工艺参数对金刚石薄膜的红外光学性质的影响,并通过透过率T的数学模型模拟计算了其它光学参数,如折射率、厚度、表面粗糙度等。结果表明,模拟的红外透过率曲线与实测的曲线相吻合。因此可以通过模拟曲线与实测曲线的比较以及模拟计算的金刚石薄膜的折射率与天然金刚石的折射率的比较评价金刚石薄膜的质量。

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