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激光诱导化学气相沉积纳米硅粉

王卫乡  李道火  刘宗才  詹合英  刘颂豪  
【摘要】:正1前言硅是重要的半导体材料,在微电子学、能源等领域有着极为广泛的应用。非晶硅的出现更加丰富了硅科学的研究内容,纳米硅的诞生又给这一学科增添了新成员。实验表明,纳米硅薄膜在电学、光学和稳定性方面优于a—Si:H和μc—Si:H,部分性能甚至优于单晶硅。更引人注目的是日本已报道发现了粒度为3nn的硅颗粒具有场致发光效应,为光电子器件的

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