金刚石薄膜与衬底间过渡层结构特性的研究

【摘要】：正1引言金刚石优异的物理化学性质使全刚石薄膜成为一种理想的功能材料,近年来引起了人们越来越大的关注,在世界范围内兴起了"金刚石薄膜热"在合成方法、制备技术、机理研究、材料性质的表征及应用开发等方面均取得了较大的进展。目前,用多种方法在各种衬底材料上合成出金刚石薄膜,不同的制备方法,不同的衬底材料对金刚石薄膜的界面性质有不同的影响,研究金刚石薄膜与衬底间的界面成份、界面结构以及界面性质对于了解金刚石薄膜的生长机制以及金刚石薄膜的应用研究都是很有意义的。