红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率

【摘要】：正1前言金刚石薄膜的研究已开始进入实用化阶段,因此研究出一种简便、快速、准确、无损地测量其膜厚的方法是非常重要的。用扫描电子显微镜来观测薄膜的断口,确定膜厚无疑是准确的,但方法复杂,而且要损坏样品。触针法虽然方法简便,但需制作特殊带有薄膜的台阶样品。椭园偏光解析法所用光源是氦氖激光(波长为632。8nm),所测膜厚以纳米级为宜,并且,椭园偏光解析法的光束是斜入射,金刚石薄膜的表面粗糙度达微米级,因此对632.8nm的激光,几乎是不透明的。金刚石薄膜的厚度一般为几微米至几十微米,红外波长是几微米至几十微米,因此用红外反射谱法是较为适宜的。

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前20条

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3	赵南方,杨巧勤,赵立华,李德意,肖汉宁;热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析[J];矿冶工程;1998年03期
4	;其它[J];中国光学与应用光学文摘;1998年04期
5	;金刚石薄膜开发取得突破[J];炭素技术;2001年02期
6	黄树涛,姚英学,于宏,李剑锋,袁哲俊;金刚石薄膜在硬质合金基体上的生长及附着强度研究[J];人工晶体学报;2004年06期
7	匡同春,刘正义,代明江,周克崧,王德政;金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的界面表征[J];无机材料学报;1998年05期
8	茅东升,赵俊,李炜,王曦,柳襄怀,诸玉坤,周江云,范忠,李琼,徐静芳;金刚石薄膜电子场发射研究进展[J];材料导报;1998年06期
9	方亮,王万录,王健,廖克俊,丁培道;金刚石薄膜内应力研究现状[J];材料导报;1999年06期
10	杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国;金刚石薄膜压力传感器的研究[J];材料导报;2000年08期
11	黄扬风,马志斌,汪建华,梅文明;Cu和Cu/Ti过渡层对金刚石薄膜附着力的影响[J];材料保护;2003年11期
12	马志斌,张文文;金刚石薄膜的低温沉积[J];武汉化工学院学报;2003年04期
13	李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,季锡林,李力,周德惠;脉冲负偏压增强的高质量金刚石薄膜的沉积[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年04期
14	唐华生;金刚石薄膜涂层技术[J];洪都科技;1990年01期
15	郑昌琼;冉均国;;日本金刚石薄膜研究发展动态[J];新型炭材料;1991年Z1期
16	黄树涛，姚英学，陈朔冬，张宏志，袁哲俊;燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究[J];材料科学与工艺;1996年04期
17	匡同春,王晓初,刘正义;金刚石薄膜涂层刀具的研究进展与应用现状[J];硬质合金;1999年01期
18	黄兴家;;金刚石薄膜的沉积技术及其应用[J];材料科学与工程学报;1990年03期
19	A.H.Deutchman;R.J.Partyka;朱景环;;金刚石薄膜的沉积——工业性金刚石薄膜沉积在很快形成商品[J];热处理技术与装备;1990年01期
20	郑昌琼;冉均国;;日本金刚石薄膜研究发展动态[J];材料科学与工程学报;1992年02期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘忠伟;孙滨如;张保军;周越;;红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
2	陈将伟;张豹山;唐东明;杨燚;鹿牧;陆怀先;;电磁波在损耗媒质界面反射折射基本规律的理论研究[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2009学术交流会论文集[C];2009年
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5	苗翠英;李普济;;汽车前大灯玻璃的元素及折射率测定[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集（下册）[C];2006年
6	张殷华;黄伟;张云洞;;几种红外薄膜材料的光学特性[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
7	庄乃锋;陈新;胡晓琳;陈建中;;非线性光学晶体Ca_(10.5-x-3y)A_(2x)La_(2y)(VO_4)_7(A=Na~+,K~+)的光学与热学性质研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
8	岳耀丽;徐明阳;吕宏伟;丁明吉;周翔;霍建;曾鹏;;实验室内光纤长度的精确测量[A];第十七届十三省（市）光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
9	刘正堂;宋建全;朱景芝;耿东生;郑修鳞;;磁控反应溅射Ge_xC_(1-x)薄膜的光学性能[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
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中国博士学位论文全文数据库

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2	王小平;金刚石薄膜电致发光特性研究[D];郑州大学;2002年
3	沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
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5	蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
6	王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
7	骆金龙;CVD金刚石薄膜的制备及其特性和器件化研究[D];复旦大学;2005年
8	许龙山;碳纳米材料的制备及其在复合材料中的应用[D];湖南大学;2009年
9	李学敏;金刚石薄膜电极的电化学特性及其在污水处理中的应用研究[D];清华大学;2004年
10	刘燕燕;微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的电子显微学分析[D];大连理工大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
2	王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
3	李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
4	石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
5	杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
6	孔祥飞;金刚石在海洋营养盐红外吸收检测中的应用研究[D];中国海洋大学;2012年
7	凌晓辉;各向同性零折射率超常介质中电磁波的传播特性研究[D];湖南大学;2010年
8	王玲;W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2011年
9	田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
10	张益豪;TC4钛合金表面沉积金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2012年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者刘霞;科学家构建出零折射率“超材料”[N];科技日报;2011年
2	吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年
3	记者周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
4	吴琼;新型电子材料[N];北京电子报;2000年
5	刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
6	金展;中国金刚石薄膜开发获重大进展[N];中国有色金属报;2002年
7	;成都理工大学：打造先进金刚石薄膜实验室[N];人民日报海外版;2003年
8	葛进;日证明水具有普克尔斯效应[N];科技日报;2008年
9	科新;强磁场下纳米金刚石薄膜的制备技术项目通过验收[N];中国建材报;2008年
10	本报记者薜庆元;树脂镜片八成不合格[N];中国消费者报;2003年

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