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红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率

刘忠伟  孙滨如  张保军  周越  
【摘要】:正1前言金刚石薄膜的研究已开始进入实用化阶段,因此研究出一种简便、快速、准确、无损地测量其膜厚的方法是非常重要的。用扫描电子显微镜来观测薄膜的断口,确定膜厚无疑是准确的,但方法复杂,而且要损坏样品。触针法虽然方法简便,但需制作特殊带有薄膜的台阶样品。椭园偏光解析法所用光源是氦氖激光(波长为632。8nm),所测膜厚以纳米级为宜,并且,椭园偏光解析法的光束是斜入射,金刚石薄膜的表面粗糙度达微米级,因此对632.8nm的激光,几乎是不透明的。金刚石薄膜的厚度一般为几微米至几十微米,红外波长是几微米至几十微米,因此用红外反射谱法是较为适宜的。

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