溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响

【摘要】：正1引言近年来,随着声表面波器件在信号变换及传输领域的应用日益扩大,压电薄膜受到越来越多的重视。将ZnO、AlN两种薄膜材料复合起来,制作为层状结构,利用两层薄膜的界面耦合进行声表面波传输,可以获得高声速、高耦合系数的优良性能。本文对此种薄膜的制备工艺条件进行了探讨。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	潘德芳;苑进社;秦国平;刘颖丹;;PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析[J];电子元件与材料;2010年07期
2	兰允祥;刘小珍;何杰;;Fe~(3+)掺杂TiO_2薄膜材料的制备与光催化性能研究[J];广东化工;2010年05期
3	周灵平;陈道瑞;彭坤;朱家俊;汪明朴;;陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控[J];湖南大学学报(自然科学版);2010年11期
4	夏冬林;杨晟;赵修建;;铝诱导晶化P型非晶硅薄膜实验研究[J];纳米科技;2005年05期
5	杜玉军;杨陈;惠迎雪;;过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响[J];材料导报;2007年08期
6	徐彦;关富玲;;可展开薄膜结构折叠方式和展开过程研究[J];工程力学;2008年05期
7	许前丰;严有为;;前驱体溶液配比及pH值对凝胶-燃烧合成纳米MgO颗粒的影响[J];功能材料;2006年03期
8	赵素;刘政;张新兵;;纳米碳管增强铝基复合材料的工艺及性能研究[J];铸造技术;2006年02期
9	姜亚明;谢霞;邱冠雄;王鹏;;多向纤维缠绕预制件的纤维取向[J];纺织学报;2006年06期
10	周小康;周明;吴春霞;袁润;;定向生长碳纳米管阵列的制备及其应用研究进展[J];材料导报;2007年S1期
11	祝宝军;陶颖;蒋东;贾汉友;孔晨光;黄诗婷;;水热合成纳米氧化锆工艺研究[J];硬质合金;2008年02期
12	易盛光,黄成友;新颖陶瓷环形零件的加工[J];燃气涡轮试验与研究;1994年01期
13	张友寿;李四年;陈惠敏;潘永清;;铝—石墨最佳复合工艺参数的正交试验研究[J];适用技术市场;1998年01期
14	李计元;王长平;赵丹;张兆太;;聚乙烯吡咯烷酮碘/海泡石复合材料的制备工艺研究[J];天津城市建设学院学报;2006年03期
15	孟祥鋆;王德庆;郭昭君;薛微微;;发泡工艺参数对闭孔泡沫铝胞结构的影响[J];材料热处理学报;2006年06期
16	杨护霞;宣艳;杜珊;刘有菊;;纳米氧化铝粉体的相变研究[J];攀枝花学院学报;2007年06期
17	乔梁;李霸宇;徐敏;;酸再生提高氧化铁粉质量浅析[J];中国冶金;2008年01期
18	陈爽;严红革;陈超;李红艳;;低温燃烧法合成纳米MgO粉体工艺的研究[J];粉末冶金工业;2009年02期
19	杜晓明;杨君宝;董秀琦;;上压渗流铸造法制备泡沫铝[J];沈阳理工大学学报;2009年01期
20	石峰;戴一帆;彭小强;康念辉;刘志军;;纳米金刚石磨料磁流变抛光材料去除机理与工艺研究[J];国防科技大学学报;2009年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张鹰;严康宁;曲喜新;;溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
2	王友善;王长国;杜星文;;薄膜充气梁的皱曲行为分析[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集（下册）[C];2008年
3	闻立时;黄荣芳;郭丽萍;宫骏;于宝海;;TI-N系薄膜结构的电镜研究[A];海峡两岸电子显微学讨论会论文专集[C];1991年
4	王玫;黄安平;张德学;宋雪梅;王波;严辉;廖波;;纳米碳化硅(SiC)薄膜结构与溅射参数的关系[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2001年
5	张海芳;杜丕一;翁文剑;韩高荣;;Fe~(3+)离子敏感Ge-Sb-Se-Fe(Ni)系薄膜的掺杂行为研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
6	井源源;刘艳辉;孟亮;;多晶FeS_2薄膜电学性能的研究与进展[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
7	王炜;夏珏;王玲;陶杰;;铝的阳极氧化纳米多孔膜的制备及工艺参数研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（上卷）[C];2003年
8	王炜;夏珏;王玲;陶杰;;工艺参数对铝的阳极氧化多孔膜的影响[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（上卷）[C];2003年
9	陈长琦;陈庆连;王君;方应翠;王旭迪;;影响反应磁控溅射法制备VO_2薄膜的各种因素[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
10	陈庆连;陈长琦;方应翠;王君;王旭迪;;影响反应磁控溅射制备VO_2薄膜的各种因素[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	计道珺;气凝胶催化剂规模化制备多壁碳纳米管的研究[D];武汉科技大学;2005年
2	陈官璧;金属墨水法制备CuInS_2薄膜及太阳电池[D];浙江大学;2010年
3	徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
4	任呈强;沥青基碳材料浸渍—碳化的数值计算[D];西北工业大学;2006年
5	张坚;选区激光烧结PS/Al_2O_3纳米复合材料若干关键技术研究[D];南京航空航天大学;2005年
6	裘武军;电化学沉积法制备薄膜Bi_2Te_3基热电材料[D];浙江大学;2011年
7	陈岳;碳纳米管的制备及其薄膜结构场发射实验研究[D];华东师范大学;2005年
8	迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9	高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
10	邵珊珊;力及力—电耦合作用下微结构中扩散、应力和变形分析[D];华东理工大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王艳艳;利用磷石膏合成硅灰石的研究[D];武汉理工大学;2008年
2	迟蕾;气流/静电纺丝方法制备聚对苯二甲酸乙二酯（PET）纳米纤维[D];四川大学;2005年
3	钟秀琪;泡沫铝发泡行为与孔演变的研究[D];太原科技大学;2007年
4	赵静怡;纳米Al_2O_3/Ni-P复合镀层的研究[D];河北工业大学;2009年
5	李茂欣;Cr_2AlC及其固溶体的合成与性能研究[D];北京交通大学;2009年
6	岳蕾;电感耦合等离子体制备PEO/Ag纳米复合物的研究[D];北京印刷学院;2008年
7	刘倩;磁控溅射法制备氮化钛薄膜及其结构与电性能研究[D];南昌大学;2009年
8	李云;纳米TiO_2薄膜结构与光电特性研究[D];西北工业大学;2005年
9	张海芳;掺杂Ge-Sb-Se系Fe～（3+）、Cd～（2+）离子敏感薄膜结构与性能研究[D];浙江大学;2006年
10	王鹏;玻璃基ZnO:Al薄膜的射频磁控溅射法制备及其结构和性能表征[D];武汉理工大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前3条

1	张磊;我国参与纳米材料国际标准制订[N];经理日报;2008年
2	姜肇中;玻纤增强基材的创新与发展[N];中国建材报;2008年
3	记者陶加;氧化石墨烯新工艺打开应用新空间[N];中国化工报;2011年

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