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溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响

张鹰  严康宁  曲喜新  
【摘要】：正1引言近年来,随着声表面波器件在信号变换及传输领域的应用日益扩大,压电薄膜受到越来越多的重视。将ZnO、AlN两种薄膜材料复合起来,制作为层状结构,利用两层薄膜的界面耦合进行声表面波传输,可以获得高声速、高耦合系数的优良性能。本文对此种薄膜的制备工艺条件进行了探讨。

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