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缓蚀剂对集成电路环氧塑封料耐蚀性影响的研究

浦琮  陈月辉  李善君  周伟舫  
【摘要】:正1前言在集成电路封装中,环氧树脂已成为最广泛采用的塑封料。因集成电路中芯片的铝布线宽仅为微米尺度,极易腐蚀,这已成为集成电路失效的一个主要原因。环氧塑封料属非气密性封装,文献报导引起腐蚀可能是由于封装材料中的杂质离子和水气渗入,前者人们通过纯化原材料降低杂质离子浓度,已趋极限,本工作针对塑封料中加入缓蚀剂,提高耐蚀性进行了初步研究。

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