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单晶金刚石微透镜阵列的制备研究

张彦峰  陈钰杰  余思远  
【摘要】:正透镜是在光学系统中用来对光进行会聚和发散的一种光学元件。通常的透镜一般是通过抛光加工得到,制造工艺复杂,而且制造出来的光学元件尺寸大、体积大、重量大,不能满足集成化发展的需要。目前,人们已经能够制作出直径非常小的透镜与透镜阵列,这种透镜与透镜阵列通常是不能被人眼识别的,只有用显微镜、扫描电镜、原子力显微镜等设备才能观察到,这就是微透镜和微透镜阵列。微透镜阵列在光传感、光计算、光纤通信及其它光电子器件中获得了重要的应用。而金刚石作为一种超硬材料

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