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等离子薄膜技术在工模具中的应用

【摘要】:正用直流磁控/射频溅射镀、多弧离子镀、离子束辅助增强沉积、高能离子注入等方法设计并合成具有特殊界面微结构的人工超晶格纳米多层超硬薄膜和纳米颗粒超硬薄膜。目前利用0.11nm/sec.的薄膜沉积速率,镀制出单层厚度为2~20nm总层数为140层的纳米多层膜

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