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稳健设计在微机械陀螺结构参数设计中的应用

周浩  
【摘要】:正相对于宏观机械系统,微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical-Systems,MEMS)器件的特征尺寸和性能对于设计参数的变异(通常是由于加工误差引起的)更敏感。因此在MEMS器件设计阶段引入稳健(robust)设计可以有效抑制产品性能的波动。自20世纪80年代初,出现了大量关于宏观机械系统的稳健设计研究,并已取得较好的应用。近年来,有学者尝试将稳健方法引入MEMS器件结构设计中,但是由于所建立的稳健模型并不完善,使得这些方法的工程应用不理想。鉴于此,电子工程研究所先进

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