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微惯性传感器的新进展

高杨  
【摘要】:正微惯性技术是惯性技术与MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)结合产生的一门新兴交叉学科,包括MEMS惯性传感器元件技术,惯性测量、稳定,惯性导航与制导技术。微惯性传感器主

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