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材料的微细加工技术研究

张继成  
【摘要】:正在微传感器、执行器、集成光学器件、高分辨探测器等的研究中,材料的非机械微细加工技术是一种必不可少的成型技术。通过相关课题的研究,开展了反应离子刻蚀技术和聚焦离子束精密加工技术研究,进行了金刚石薄膜等材料的微细加工技术实验研究,掌握了基本的实验流程和实验技能。

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