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面形零件微观表面的三维重构技术

张勇斌  肖虹  吉方  
【摘要】:正面形零件微观表面的三维重构技术不仅有很高的灵敏度和准确度,而且有较大的测量范围,在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域中均获得了广泛的应用,适用于精度介于AFM和常规CMM之间的精密检测需求。文中针对超光滑零件表面检测的高精度要求,采用基于光学干涉原理和计算机视觉理论的

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