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磁控溅射锆钒合金膜

梁建华  赵鹏冀  郝万立  施立群  
【摘要】:正蒸发成膜合金中的各成分蒸发速率为GA=7.714XAPA(MA/T)1/2,GA为合金中A成分的蒸发速率,g/cm2·s; XA为合金中A成分的摩尔分数;PA为A物质的纯蒸气压,Pa;MA为A物质的分子量;T为温度,K。相同温度下V的蒸气压比Zr的高2-3个量级。由蒸发速率GA可知,ZrV2合金采用蒸发成膜存在固

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