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光学亚表面损伤的探测和后处理技术

陈宁  张清华  许乔  
【摘要】:正光学元件被污染和亚表面存在的缺陷将使它的性质受损。即使是微小尺寸的缺陷(小于Φ1 μm)也会引起激光损伤。国外研究表明,光学元件在其制造过程中形成的亚表面缺陷是导致紫外损伤的主要根源之一。光学元件的损伤问题已成为高功率固体激光装置研制的核心问题,而紫外的损伤尤为严重。

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