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薄膜物理与制备技术

吴卫东  冯建鸿  许华  张继成  李俊  陈志梅  唐晓红  黄勇  何智兵  唐永建  
【摘要】:正薄膜物理和制备是ICF物理实验制靶中的一项重要环节,随着ICF实验的深入,薄膜靶和薄膜靶零件作为一种重要的靶型,其需求呈现多样化、复杂化和精密化。探索各种薄膜靶的结构与性能、新的制备技术成为靶制备科学的重要研究内容。

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