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光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理

柴立群  许乔  胡建平  周礼书  王毅  石琦凯  
【摘要】:正采用时域有限差分方法(FDTD)进行元件表面微结构电磁场分布的数值模拟;同时实验分析了化学湿法刻蚀对光学元件表面面形及粗糙度、激光损伤阈值等的影响。采用二维三波FDTD方法分别计算了二维表面划痕、周期性微结构在TE及TM波入射下的电场分布,

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