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电真空器件残余气体成分的光谱诊断

金大志  唐平瀛  谈效华  
【摘要】:正特种电真空器件在存放过程中,多种原因会造成气压上升和真空度下降,尽管通过真空计可测量气压的大小,但无法了解引起气压上升和真空度下降的原因及气体的成分。由于特种电真空器件带有一段玻璃管,因此可采用高频感应放电方式激励管内气体电离引起放电,产生放电光谱,通过对光谱的分析和比对,确定管内气体成分。建立高频放电等离子体的方法主要有电感和电容耦合。前者是将放电管置于通有高频电流的线圈中,

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