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“叉指”结构微加速度计的系统设计

何晓平  张德  文贵印  
【摘要】:正利用MEMS技术研制静电伺服微加速度计,在享受了MEMS加工特点带来的体积小、功耗小、抗振能力强等优点的同时,也遇到了检测电容极小(10-12F)、静电力反馈力小等难题,要使微加速度计满足性能要求,必须进行合理的系统设计。研究的“叉指”结构微加速度计属静电伺服微加速度计,由敏感芯片和伺服控制电路组成。其敏感芯片用体硅干法工艺加工而成,其显微照片如图1所示,芯片面积

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