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密封电真空器件真空度的测量方法

金大志  戴晶怡  
【摘要】:正密封电真空器件由于不带真空规无法直接测量管内真空度,因此需要研究并建立一种合适的密封电真空器件真空度的测量方法。工作将潘宁放电的工作原理应用于密封电真空器件真空度的测量中,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型(着火条件模型、离子流-真空度模型)。利用直流电磁场测量密封电真空器件真空度的实验装置,确定了实验参数。测量了离子流-真空度曲线,在

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