收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

抗7400g冲击的静电伺服微加速度计

何晓平  
【摘要】:正利用微电子机械系统(MEMS-Micro Electro Mechanical System)技术,采用体硅微机械工艺,研制了一种结构简单、体积小、抗高冲击的静电伺服微加速度计。传感器的敏感部分为梳齿结构,如图1所示,其扫描电镜显微照片如图2所示。敏感元件由活动部分和A,B固定电极三部分组成。其中,活动部分由超静定梁、质量块以及与质量块

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘晓为;刘云涛;姜一鸣;尹亮;;四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析[J];哈尔滨工业大学学报;2011年07期
2 刘恒;张凤田;何晓平;苏伟;张富堂;;静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造[J];重庆大学学报;2011年08期
3 代刚;李枚;苏伟;邵贝贝;;微惯性测量单元的误差整机标定和补偿[J];光学精密工程;2011年07期
4 木子;;微型惯性装置研发溯源[J];海陆空天惯性世界;2011年10期
5 李恒灿;李勇;;一种变面积型差动电容加速度传感器的设计[J];兰州理工大学学报;2011年03期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 何晓平;;抗7400g冲击的静电伺服微加速度计[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
2 李圣怡;刘宗林;吴学忠;;微加速度计的发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
3 万蔡辛;李丹东;张承亮;冯强;郑旭东;;电容式微加速度计的整流误差与减震浅析[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
4 胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
5 郑继锋;江力勤;王迎;;主动固定电极右室起搏的研究[A];2011年浙江省心电生理与起搏学术年会论文汇编[C];2011年
6 杨慧;郭航;;压电式微加速度计的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
7 张卫玲;秦中胜;韩麦丰;王育惠;;被动固定电极可行的后备电极放置部位——右室流出道起搏二例[A];中华医学会心血管病学分会第十次全国心血管病学术会议汇编[C];2008年
8 李萍;石泉;胡建新;吴延庆;吴清华;程晓曙;程开诚;姜醒华;;主动固定电极在右心室流出道间隔部起搏中的应用[A];中华医学会第11次心血管病学术会议论文摘要集[C];2009年
9 何晓平;张德;文贵印;;“叉指”结构微加速度计的系统设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
10 何晓平;;“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘恒;静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究[D];重庆大学;2011年
2 周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
3 戴强;基于SOI的电容式微加速度计器件物理模型与实验研究[D];电子科技大学;2010年
4 刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 胡宇群;微型飞行器中的若干动力学问题研究[D];南京航空航天大学;2002年
6 刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
7 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
8 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
9 李燕斌;静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计[D];华中科技大学;2008年
10 代刚;MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究[D];清华大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱铭哲;二阶全差分ΣΔ微加速度计接口电路的设计[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 牛正一;单片集成三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
3 王兴华;单片三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
4 李文燕;复合量程微加速度计温度补偿的研究[D];中北大学;2012年
5 张运奎;多梁支撑圆盘电容式微加速度计测控系统的研究[D];上海交通大学;2012年
6 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
7 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
8 何江波;支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究[D];西南交通大学;2011年
9 赵文静;基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
10 谭振新;HEMT嵌入式微加速度计的优化设计与测试[D];中北大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前7条
1 李楠;静电除尘技术的新突破[N];科技日报;2007年
2 广东 康志伟;什么是静电扬声器?[N];电子报;2006年
3 北京弗欧弗奥信息咨询有限公司 谭薇;MEMS传感器大规模应用指日可待[N];中国电子报;2006年
4 山西 杨德印;高压电动机的启动(中)[N];电子报;2008年
5 ;冷却元件[N];中国有色金属报;2003年
6 匡远深;DBS治疗迟发性肌张力障碍[N];中国医药报;2004年
7 河南许昌技术经济学校 李德彦;汽车常用压力传感器与检测[N];电子报;2009年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978