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X射线多层膜反射镜效率测量

黄文忠  淳于书泰  尤永禄  谷渝秋  李玉同  何颖玲  陆丽珠  
【摘要】:正软X射线多层膜反射镜是X射线激光应用研究必需的光学元件,其性能优劣直接关系到应用实验的成败。国内虽然可以通过X射线小角衍射对多层膜反射镜的周期结构进行分析,从而间接判断多层膜反射镜的理论反射特性。然而由于制作工艺的复杂,实际反射率和理论反射率可以有很大不同,即使同一批次加工的反射镜其个体特性也有很大差异。为了建立多层膜反射镜效率的实验标定方法并确定反射率的范围,以激光等离子体为标定源,以透射光栅谱仪为分光元件在星光Ⅱ激光器上进行了多层膜镜标定实验。

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