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C_xH_(1-x)薄膜制备

吴卫东  罗江山  张占文  黄勇  
【摘要】:正在碳的众多化合物中,非晶C:H的独特性质引起人们对它们的极大兴趣。作为惯性约束聚变(ICF)靶丸表面的CH涂层就是非晶C:H(a-C:H)。本工作采用低压等离子体化学气相沉积法制备CxH1-X薄膜,并对薄膜的特性进行初步分析。

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