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热解羰基钨制备钨涂层及其结构分析

张小锋  常发  
【摘要】:采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)的方法以羰基钨为前驱体在Cu Cr Zr合金和CLAM钢上制备了钨涂层,在实验过程中对冷壁沉积设备进行了特殊改造。实验结果表明当沉积温度在270~600℃,羰基钨升华温度在90℃左右时,在Cu Cr Zr合金和CLAM钢上可制备β-W。沉积温度是影响钨涂层性能最重要的一个因素,沉积温度在400℃以下时,涂层厚度较薄、结合性能较差,当沉积温度为500℃时制备的涂层综合性能较优。涂层经一定温度700~800℃条件下进行退火,涂层可由原来的β-W相向a-W相转变,即由介稳相转变为稳定相。此外,以Cu Cr Zr合金为基体制备的涂层比CLAM钢上制备的涂层在厚度、结合性能等方面均较好。

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