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李皓李彬陈广超  
【摘要】:金刚石具有优异的力学、电学、光学、热学、声学性能,具有广泛的应用前景。采用30kW直流电弧等离子体喷射沉积系统,制备了纳米金刚石自支撑膜、微米金刚石自支撑膜以及毫米单晶体金刚石,并对所制备的金刚石进行了相关性能的表征。利用光发射谱,考察了等离子体性状,探讨了各种金刚石的形成与制备环境的关系。


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