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微/纳制造与微/纳测量技术综述

颜黄苹  黄元庆  
【摘要】:本文详细介绍了微/纳制造和微/纳测量技术,并综述了国内外微/纳制造和微/纳测量的研究现状。在此基础上,提出了微/纳测量的关键技术和发展趋势。

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1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
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