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基于共焦显微镜原理的测量技术研究现状

张建寰  傅建记  
【摘要】:本文对共焦测量技术的结构类型以及所采用的测量原理进行了分析,指出虽然影响共焦成像质量的许多因素都有详尽的理论分析,但在利用共焦原理作为表面宏观尺寸和微观形貌的测量方面,对测量对象本身的特征包括表面的几何特征,如表面的倾斜、粗糙程度,以及物理特征,如材质对光波的作用等所引入的对共焦测量系统特性影响的分析尚缺乏理论研究。这些问题的解决对应用共焦技术进行几何量测量具有重要的意义。

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