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大气压射频放电中N_2、O_2粒子间相互作用数值模拟

霍纯青  刘福平  陈强  
【摘要】:在大气压条件下,基于多离子流体力学模型,采用数值计算方法研究了射频(RF)放电过程中电子密度、电子能量密度、氮与氧带电粒子密度等在相互作用过程中的时空演化特征。模拟了放电极板间的电子、离子分布,分析了粒子间的碰撞效应等,讨论了各种粒子成分数密度随时间和空间的变化规律。

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