大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究

【摘要】：在大气压下,以Ar为辅助气体,CH4为反应单体,利用发射光谱对介质阻挡放电(DBD)等离子枪制备类金刚石的甲烷等离子体的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断并由此分析了制备类金刚石过程中甲烷可能的离解过程。通过对检测到的等离子中发射光谱谱图的研究,证实等离子中CH、C_2、H_α等自由基粒子的存在,研究不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,同时计算了不同条件下的电子温度。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
2	翁国峰;湛玉龙;陶利平;付秋明;马志斌;;高压微波氢等离子体Balmer线系的实验[J];武汉工程大学学报;2011年07期
3	解文杰;徐鑫;;Ca掺杂的Ba_2Al_2Si_(10)N_(14)O_4:Eu~(2+)荧光粉发光性能[J];无机化学学报;2011年09期
4	黄贤智;许金钧;;多波长萤光分光光度法(一)[J];实验技术与管理;1985年04期
5	史恒超;王文春;杨德正;霍岩;贾莉;;介质阻挡放电中OH自由基对甲醛脱除的影响[J];物理化学学报;2011年08期
6	李从善;李萍;张昌华;聂晓飞;李象远;;甲基环己烷燃烧反应特性的光谱研究[J];光谱学与光谱分析;2011年09期
7	李艳红;张永明;马晶;陆海燕;;水热法制备不同粒度GdVO_4∶Eu~(3+)纳米荧光粉及发光性能研究[J];人工晶体学报;2011年04期
8	赵连城;;分子荧光探针和光量子光纤器件研究[J];功能材料信息;2011年02期
9	王智;;射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究[J];河北化工;2011年07期
10	刘伟;李西林;刘娟;韩厦;闫景辉;康振辉;连洪洲;;Gd~(3+)掺杂对NaY(MoO_4)_2∶Eu~(3+)荧光粉发光性能影响的研究[J];化学学报;2011年13期
11	;中科院兰州化物所:类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];中国材料进展;2011年05期
12	刘世江;赵阿可;;氧化铝粉体发光性能研究[J];洛阳师范学院学报;2011年08期
13	;类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];稀土;2011年03期
14	卢树华;李广慧;;Ce~(3+):YVO_4晶体的激发和发光特性[J];半导体光电;2011年04期
15	李敏;刘家祥;杨儒;陈坚;叶增;;红色荧光粉Sr_2MgSi_2O_7:Eu~(3+)的合成及发光性能[J];硅酸盐学报;2011年09期
16	魏岳;李志强;孙伟;蒋树刚;;Eu~(3+)的掺杂浓度对NaLa(WO_4)_2:Eu~(3+)发光性能的影响[J];光谱实验室;2011年04期
17	;中科院兰州化学物理研究所类金刚石薄膜的润滑研究取得新进展[J];稀土信息;2011年05期
18	王志军;李盼来;郭庆林;杨志平;;白光LED用Ba_2B_2P2O_(10)∶Eu~(2+)绿色荧光粉的光谱特性[J];光子学报;2011年07期
19	王智;;掺硅类金刚石薄膜的制备及其微观机械性能研究[J];河北化工;2011年08期
20	林惠红;梁宏斌;苏锵;张国斌;;Sr_2Mg(BO_3)_2∶Tb~(3+)的真空紫外发光性质[J];光谱学与光谱分析;2011年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张军峰;边心超;陈强;张跃飞;刘福平;;大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（二）[C];2008年
2	李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2003年
3	胡芳;代明江;林松盛;;微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4	梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5	熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
6	阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集（下卷）[C];2003年
7	姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8	张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9	王艳丽;苏克和;王欣;刘艳;;金刚石晶体掺杂B、N、P、Al、Si的abinitio研究[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
10	周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2	闫柏琨;热红外遥感岩矿波谱机理及信息提取技术方法研究[D];中国地质大学（北京）;2006年
3	闵春刚;生物多色荧光的起源及机理研究[D];吉林大学;2011年
4	李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
5	王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
6	谭畅;强脉冲离子束产生的烧蚀等离子体特性的研究[D];大连理工大学;2006年
7	张家良;低温等离子体发射光谱学研究[D];大连理工大学;2002年
8	李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
9	陈海丰;针阵列双极电晕放电及其捕集颗粒物研究[D];大连海事大学;2009年
10	孔丽;白光LED用荧光粉的合成与光谱性能研究[D];吉林大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	宋立强;铜（Ⅰ）磷光金属有机材料的制备及其光物理性质研究[D];云南师范大学;2005年
2	韩溟;基于光谱和图像综合测试系统的火焰特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
3	郑维;直流电晕放电OH自由基发射光谱研究[D];大连理工大学;2007年
4	王敏;连氮脒腙类化合物的金属配合物研究[D];华中师范大学;2008年
5	赵菊梅;稀土铝酸锶夜光纤维光照激发和发射过程研究[D];江南大学;2008年
6	麻冰欣;辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究[D];大连理工大学;2008年
7	戴尚莉;气液两相滑动弧放电特性的研究[D];浙江大学;2007年
8	曲璐;强激光辐照硅材料等离子体机理研究[D];长春理工大学;2009年
9	高璇;小型感应耦合等离子体源及其等离子体特性[D];苏州大学;2009年
10	邓续周;高气压介质阻挡均匀辉光放电的产生及其特性研究[D];复旦大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前6条

1	;对《新发现的光谱规律受到质疑》一文的回应[N];广东科技报;2001年
2	;稀土发光材料制备技术推广[N];中国有色金属报;2002年
3	记者王绍清;蜂产品检验技术获科研大奖[N];中国国门时报;2005年
4	张红河;条形码为药物开发“解码”[N];中药报;2001年
5	记者安岚坡;“江南荧光”研发出LED高性能荧光粉[N];消费日报;2009年
6	黄刚毅　冯东升;南平铝业光谱分析能力国内领先[N];闽北日报;2009年

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