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大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究

张军峰  边心超  陈强  张跃飞  刘福平  
【摘要】:在大气压下,以Ar为辅助气体,CH4为反应单体,利用发射光谱对介质阻挡放电(DBD)等离子枪制备类金刚石的甲烷等离子体的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断并由此分析了制备类金刚石过程中甲烷可能的离解过程。通过对检测到的等离子中发射光谱谱图的研究,证实等离子中CH、C_2、H_α等自由基粒子的存在,研究不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,同时计算了不同条件下的电子温度。

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