Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究

【摘要】：与单层薄膜相比,纳米多层薄膜具有较优异的力学、摩擦磨损、抗氧化及耐腐蚀等性能,引起了材料界与工程界的重视。本试验采用磁控溅射系统制备了Al/AlN纳米多层膜。采用X射线衍射分析(XRD)表征了薄膜的结构,采用纳米压痕仪测量了薄膜的纳米硬度,采用摩擦磨损试验机评价了薄膜的摩擦学性能。结果表明:AlN在单层膜中是以(100)取向生长,而在多层膜中是以(002)取向生长;Al/AlN多层膜的硬度高达24.5 GPa,是单层AlN薄膜硬度的1.9倍;相对于单层膜,Al/AlN多层膜具有低的摩擦系数和优异的抗磨损性能。

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4	黄正国,程龙,孙勤枢,刘柏峰,董绍俊;杂多酸-聚(二烯丙基二甲基氯化铵)多层膜在4-氨基硫酚修饰金电极上的组装和电化学行为[J];分析化学;2000年11期
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13	毕云飞,陶冶,刘培英;气相沉积纳米多层膜吸波性能及机理研究[J];金属热处理;2005年06期
14	李德军;张晶晶;邓湘云;王明霞;;离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜[J];中国科学(E辑:技术科学);2007年11期
15	刘新院;郝建军;;电化学法制备多层膜的研究进展[J];电镀与精饰;2011年01期
16	崔敬忠,彭军,张兴旺,陈光华,张仿清;射频溅射制备α－Ge／SiO2多层膜[J];兰州大学学报(自然科学版);1996年02期
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18	徐迪;曾飞;孔令体;耿魁伟;谷宇;潘峰;;Fe/V多层膜中亚稳结构Fe的形成及其磁学性能[J];材料科学与工程学报;2006年01期
19	薛江云,吴继勋,杨德钧;电沉积铜钴纳米多层膜的机理研究[J];电化学;1997年04期
20	李胜利,王长征;Fe/RE(Dy,Y)非晶多层膜的晶化方式及晶化温度[J];金属热处理;2000年06期

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2	张伟;张纾;田中章浩;徐滨士;;类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦学行为[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
3	张广安;王立平;吴志国;王君;闫鹏勋;;Al／AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）[C];2008年
4	孙一新;任科峰;竺磊泽;计剑;;电化学控制多层膜膜厚和粘弹性的研究[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年
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9	辜敏;姚士冰;周绍民;;Co／Cu多层膜的电化学行为[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集（上集）[C];2005年
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4	王强;溶胶—凝胶法制备La掺杂钛酸铋薄膜和多层膜及其铁电性质研究[D];苏州大学;2004年
5	张力;金属/氧化物多层膜及新型光伏材料的研究[D];大连交通大学;2004年
6	林炳;软X射线多层膜膜厚分布均匀性控制研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
7	岳文;陶瓷添加剂对钢/钢接触疲劳及滑动磨损性能的影响及机理研究[D];中国地质大学（北京）;2006年
8	郭精义;高分子复合材料摩擦磨损性能研究[D];兰州理工大学;2006年
9	薛亚飞;Cu层厚度和制备条件对Fe_（40）Co_（60）/Cu/Ni自旋阀在不同应力下巨磁电阻的影响[D];首都师范大学;2008年
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1	记者于更生通讯员王铁林郝红军苗凤强;漫河西瓜多层膜上市早销售俏[N];河北经济日报;2008年
2	记者林玟均;乐都推广巢湖式多层膜温室技术[N];青海日报;2010年
3	山东省夏津县蔬菜局王德明;设施菜生产保温很关键[N];河北科技报;2007年
4	施伟;大棚遭寒袭五法巧应急[N];山西科技报;2007年
5	;NESO[N];中国计算机报;2002年
6	本报记者　　赵亚辉;降低“摩擦之损”[N];人民日报;2006年
7	郝平;小小硬盘为何结缘诺贝尔？[N];计算机世界;2007年
8	;检测密封包装渗漏的方法[N];中国包装报;2007年
9	闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
10	记者梁红兵冯晓伟;TFT—LCD供应商发力中小尺寸市场[N];中国电子报;2007年

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