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Al/AlN多层膜的制备及摩擦磨损性能研究

张广安  王立平  吴志国  王君  闫鹏勋  
【摘要】:与单层薄膜相比,纳米多层薄膜具有较优异的力学、摩擦磨损、抗氧化及耐腐蚀等性能,引起了材料界与工程界的重视。本试验采用磁控溅射系统制备了Al/AlN纳米多层膜。采用X射线衍射分析(XRD)表征了薄膜的结构,采用纳米压痕仪测量了薄膜的纳米硬度,采用摩擦磨损试验机评价了薄膜的摩擦学性能。结果表明:AlN在单层膜中是以(100)取向生长,而在多层膜中是以(002)取向生长;Al/AlN多层膜的硬度高达24.5 GPa,是单层AlN薄膜硬度的1.9倍;相对于单层膜,Al/AlN多层膜具有低的摩擦系数和优异的抗磨损性能。

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