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挠性加速度计石英摆片下摆量和应力分析

杜秀蓉  宋学富  孙元成  张晓强  刘铸熠  
【摘要】:基于Solidworks有限元方法对摆片在1g重力场中进行应力和位移计算,发现最大应力和最大下摆量随挠性梁厚度减小而增大;下摆量和挠性梁厚度的关系模型为Lorentzian拟合曲线;挠性梁的最大应力存在于顶端根部;挠性粱厚度不均时,最大应力存在较厚部位;厚度差值小于4um时,最大下摆量与其厚度均值对应值相当。将所建立模型与实际测量情况进行比较,发现挠性梁发生弯曲变形的临界厚度值为16um;表面缺陷会增大下摆量。

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