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高性能石英玻璃精密退火工艺研究

孔敏  隋梅  王慧  王佳佳  
【摘要】:本工作以Ⅲ类石英玻璃(SiCl_4化学气相沉积法合成石英玻璃)为研究对象,将现代退火理论应用到石英玻璃精密退火过程中,建立了石英玻璃精密退火各过程数学模型,确定了各工艺参数并制定了精密退火工艺路线,有效消除了石英玻璃内应力、提高了光学均匀性,退火效率大幅提高,获得了满足要求的高性能石英玻璃。

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