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碲酸盐玻璃飞秒激光刻写特性研究

钱奇  王琰  杨钢锋  张勤远  姜中宏  
【摘要】:研究了800 nm红外飞秒激光作用下多组分碲酸盐玻璃损伤和激光刻写特性。实验测得碲酸盐玻璃的损伤阈值为15/16μJ;通过扫描电镜和能谱成分分析研究了红外飞秒激光照射下碲酸盐玻璃形貌和成分变化特点。实验发现在红外飞秒激光作用下玻璃结构和组成发生了改变,并在碲酸盐玻璃上成功刻写出波导结构。研究表明飞秒激光诱导的结构和组成变化可能是导致碲酸盐玻璃折射率变化的原因。

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