Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的模拟研究

【摘要】：考虑表面扩散各向异性和二聚体、二聚体列作用的影响,建立了Si(100)-(2×1)重构表面上Si薄膜生长的KineticMonteCarlo(KMC)模型,利用该模型对Si薄膜生长的初始阶段进行了研究。发现吸附原子的扩散长度随温度的变化满足指数函数L=L0+AeT/C。在一定的入射率下存在一最佳成岛温度,该温度随入射率的增大而升高。随温度的升高和入射率的减小,薄膜逐渐从离散生长向紧致生长转变。

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5	单英春;徐久军;赫晓东;何飞;李明伟;;基板温度对PVD薄膜分维的影响[J];稀有金属材料与工程;2007年S1期
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10	黄东辉;王平生;田伟之;倪邦发;张贵英;刘存兄;;薄层活化法不锈钢材料磨损行为的模拟研究[J];中国原子能科学研究院年报;2005年00期
11	朱阁;卢贵武;李英峰;蓝建慧;张军;郑庆彬;黄乔松;孙洵;夏海瑞;;晶体生长机制和生长动力学的蒙特卡罗模拟研究[J];人工晶体学报;2006年01期
12	熊敏;;利用启动压力梯度计算低渗油藏极限注采井距的新模型及应用[J];石油天然气学报;2006年06期
13	聂平;邓松圣;邱正阳;;泄漏与阀动作共存时水力瞬变特性的模拟研究[J];重庆科技学院学报(自然科学版);2007年01期
14	张友波;李长俊;刘定智;;凝析气管线输送稳/瞬态模拟研究[J];燕山大学学报;2007年06期
15	梁敏洁;陈铮;王永欣;张济祥;来庆波;;Ni_(75)Al_(25-x)Fe_x合金中γ′相原子占位的微观相场模拟[J];稀有金属材料与工程;2008年02期
16	林碧美;徐卫东;;某铀尾矿库区地下水~(238)U迁移模拟[J];世界核地质科学;2008年01期
17	邹桂红;崔建勇;刘占良;孙林;;大沽河典型小流域非点源污染模拟[J];资源科学;2008年02期
18	赵农校;艾尔肯·阿不列木;王世亨;杨坤杰;刘伟霞;杨慧玲;时飞跃;;用不同散射角模拟研究石蜡厚度响应初探[J];新疆大学学报(自然科学版);2008年02期
19	李磊;黄炳香;刘长友;杜子健;;厚煤层放煤工艺参数的散体模拟研究[J];煤矿开采;2008年05期
20	蒋志勇;郑忠;;薄膜生长的三维元胞自动机模拟[J];材料导报;2008年S2期

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1	王全彪;杨瑞东;杨宇;;Si(100)-(2×1)表面上Si薄膜生长的模拟研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
2	林念芸;;辐射、强紫外光电离损伤核酸原初过程的模拟研究[A];Strong Field Laser Physics--Proceedings of CCAST (World Laboratory) Workshop[C];2000年
3	刘伟;李丹;;东北冷涡的鸟巢结构模拟研究[A];第26届中国气象学会年会航空与航天气象技术交流会分会场论文集[C];2009年
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7	杨洪海;KHANDEKAR Sameer;GROLL Manfred;;单回路闭式脉动热管内流型的模拟研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
8	任立良;刘新仁;;基于数字流域的水文过程模拟研究[A];21世纪中国水文科学研究的新问题新技术和新方法——中国地理学会水文专业委员会第七次全国水文学术会议文集[C];1999年
9	张飞燕;李有润;沈静珠;胡山鹰;;新型少废反应器的模拟研究[A];过程系统工程2001年会论文集[C];2001年
10	张富强;王新华;;连铸板坯二冷宽度方向上不均匀冷却的模拟研究[A];2007中国钢铁年会论文集[C];2007年

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2	鄢志丹;超高真空有机分子薄膜生长实时原位荧光显微方法与系统[D];天津大学;2010年
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中国硕士学位论文全文数据库

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1	陈丹丹;（001）和（110）表面上薄膜生长特性的研究[D];东北大学;2008年
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3	毛文;薄膜生长的数值模拟及实验验证[D];大连理工大学;2012年
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7	杨宁;薄膜生长的理论模型和蒙特卡罗模拟[D];北京工业大学;2000年
8	宋超群;基底温度等因素对薄膜生长影响的Monte Carlo模拟研究[D];燕山大学;2009年
9	冯玉芳;α-Al_2O_3（0001）表面吸附AlN的模拟研究[D];四川师范大学;2009年
10	李杰;温度对Pt/Au异质外延薄膜生长影响的分子动力学模拟[D];南昌大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	毛文波;扼核事故于未然[N];科技日报;2004年
2	;智能交通系统：效益与成本（七）[N];中国交通报;2004年
3	记者王洪斌通讯员蔡媛媛;山西模拟研究地下水促合理开发[N];中国水利报;2007年
4	数技经所蜀言;经济政策与模拟研究[N];中国社会科学院院报;2007年
5	中信-CBMM微合金化技术中心杨雄飞;中信-CBMM铌钢研究与开发项目情况综述[N];世界金属导报;2006年
6	关晓丽记者　尹春芙;培养高层次实用型人才[N];吉林日报;2007年
7	吴越;寻梦的脚步[N];中国气象报;2008年
8	白毅;我国专家发现纳米水通道新特性[N];中国医药报;2005年
9	罗静;南大宜兴环保科技研发中心开业[N];中国化工报;2006年
10	严登华中国水利水电科学研究院博士后麦少芝华南师范大学地理科学学院;科学塑造湿地健康水循环[N];中国水利报;2006年

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