纳米集成电路用半导体材料的科学与技术问题

【摘要】：正随着超大规模集成电路的设计线宽向纳米尺度发展,对半导体材料的质量要求越来越高,其中有很多技术问题和物理科学问题急待解决。因此,研究硅及硅基半导体材料中的杂质行为,控制缺陷,提高晶体的一致性和表面及界面的完整性,采用缺陷工程改善材料的质量显得尤为重要。阐述了300mm硅单晶生长中传热和传质过程对其性能的影响,点缺陷及其衍生

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中国期刊全文数据库

前20条

1	黄芳;宽禁带半导体材料及器件[J];世界电子元器件;1999年08期
2	王占国;半导体材料发展现状与趋势[J];世界科技研究与发展;1998年05期
3	;半导体材料竞争无线应用领域[J];电子产品世界;2001年16期
4	陈力;中国科学院上海冶金所高性能半导体材料研究获重要成果[J];高技术通讯;1996年10期
5	倪晓武,沈中华,陆建;强激光对光电器件及半导体材料的破坏研究[J];光电子.激光;1997年06期
6	李光平，汝琼娜，何秀坤，李静;FT─IR技术在半导体材料中的应用[J];半导体情报;1994年03期
7	周立军;半导体材料的发展及现状[J];新材料产业;2001年05期
8	王占国;半导体材料的发展现状与趋势(摘要)[J];新材料产业;2000年05期
9	顾聚兴;用于光电子学的材料[J];红外;1998年11期
10	詹捷,白俊,聂斌英;半导体材料表面精密加工技术[J];机械工艺师;1999年06期
11	赵洪安,夏伟宁,宁潜艳,马丛笑,李将禄;半导体材料室温热导率测试装置的研制[J];人工晶体学报;1997年Z1期
12	万振华,崔容强,徐林,陈凤翔;半导体材料少子寿命测试仪的研制开发[J];中国测试技术;2005年02期
13	;抓住机遇,努力开创材料加工设备新局面“半导体材料生长、加工设备新产品技术交流会”纪要[J];电子工业专用设备;2000年02期
14	江涛,晓晨;环境半导体的研究动向[J];激光与光电子学进展;2000年11期
15	吕翔,褚君浩;半导体材料的光致发光[J];红外;2001年03期
16	凌玲;半导体材料的发展现状[J];新材料产业;2003年06期
17	陈朝;半导体材料和器件的少子扩散长度随工艺跟踪测量[J];厦门大学学报(自然科学版);1995年05期
18	李毅,易新建;HgCdTe表面氧化特性[J];半导体光电;1997年04期
19	金禾;迎接后硅时代涌动化合物半导体[J];电子产品世界;2002年19期
20	谢自力,张荣,毕朝霞,刘斌,修向前,顾书林,江若琏,韩平,朱顺明,沈波,施毅,郑有炓;InN材料及其应用[J];微纳电子技术;2004年12期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	屠海令;;纳米集成电路用半导体材料的科学与技术问题[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
2	屠海令;;硅及硅基半导体材料的研究与发展[A];2003年新材料发展趋势研讨会演示文稿汇编[C];2003年
3	汤洪高;;宽带隙半导体材料SiC研究进展及其应用[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
4	屠海令;郑安生;张峰翊;邓志杰;王永鸿;钱嘉裕;韩庆彬;陈坚邦;;砷化镓及相关化合物半导体材料的研究进展和应用前景[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5	李国庆;刘爱民;潘萌;杜晓书;郭凡;;电化学刻蚀方法制备半导体材料纳米阵列[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
6	刘志凯;宋书林;陈诺夫;尹志岗;柴春林;杨少延;;室温铁磁性GaN:Cr薄膜的性质研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7	郭其新;;氮化铟半导体材料的光学和电学特性[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
8	江涛;蔡伟;江丽君;;晶界施受主掺杂的缺陷行为对SrTiO_3基(压敏-电容)材料性能的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
9	牛新环;张维连;吕海涛;蒋中伟;王雅欣;;掺锗CZSi禁带宽度的变化[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
10	刘力锋;陈诺夫;尹志岗;杨霏;周剑平;;Mn注入n型Ge单晶的磁性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	张爽;用于紫外光探测器的TiO_2及其复合氧化物的结构和光学性质研究[D];吉林大学;2004年
2	李毅刚;新型掺铒光学材料及光波导的制备与光学性质研究[D];复旦大学;2005年
3	黄正兴;薄膜热导率的测试与分子动力学模拟研究[D];大连理工大学;2007年
4	杨青;基于飞秒激光的复合材料光学非线性与诱导微结构的研究[D];中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）;2009年
5	伍滨和;光场及THz场作用下载流子动力学研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年
6	邓云龙;涡轮LP-MOCVD研制GaInP/GaA1InP应变多量子阱高亮度发光二极管[D];华南师范大学;2002年
7	金应荣;硒化镉（CdSe）单晶体生长及其室温核辐射探测器[D];四川大学;2002年
8	张晓松;量子点光子晶体光纤光谱与激光特性的基础研究[D];南开大学;2008年
9	李奇峰;碲锌镉单晶体生长及碲锌镉室温核辐射探测器制备[D];四川大学;2002年
10	胡远川;有机薄膜场效应晶体管及其载流子传输特性[D];清华大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李留臣;碳化硅晶体生长设备的研制[D];西安理工大学;2002年
2	程莉莉;宽禁带半导体材料—AIN薄膜的离子束合成与表征[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
3	高勇;半导体材料科学中的漂移扩散模型和流体动力学模型分析[D];河南大学;2004年
4	宫华;水热法制备ZnSe半导体材料及其性能研究[D];长安大学;2004年
5	张党卫;低维半导体材料结构参数的高分辨率X射线衍射研究[D];西北大学;2001年
6	刘维;CVD制备碳基宽带隙半导体材料及其特性研究[D];北京工业大学;2003年
7	韩燕丽;半导体物理发展史探讨[D];首都师范大学;2000年
8	刘志刚;50瓦大功率808nm半导体列阵组侧泵YAG激光器设计及研究[D];长春理工大学;2002年
9	郎佳红;GaN ECR-PEMOCVD生长表面RHEED图像研究[D];大连理工大学;2004年
10	杨石;有机半导体材料特性测量及有机场效应管应用的研究[D];吉林大学;2004年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	高金祥;美国国家半导体推出次级线圈后置稳压器[N];电子资讯时报;2005年
2	记者何德功;新型电视机有望贴在玻璃上[N];新华每日电讯;2004年
3	蔡绮芝 DigiTimes;私募入主破局中芯收购华虹NEC？[N];电子资讯时报;2007年
4	林昌明 DigiTimes;ADI上季度获利增长19%[N];电子资讯时报;2006年
5	赵凯期 DigiTimes;瑞昱毛利率可望逾四成[N];电子资讯时报;2006年
6	吴宗翰 DigiTimes;力晶、日月光合建封测厂[N];电子资讯时报;2006年
7	林风;美研制出改进的磁半导体“三明治”材料[N];中国有色金属报;2006年
8	王林;ST推出微欧功率MOSFET 提高并联服务器电源能效[N];电子资讯时报;2007年
9	;美国IBM开发出最大可将半导体速度提高35%的技术[N];中国高新技术产业导报;2001年
10	河南高纪康;硒光电池在光电长度仪中的应用[N];电子报;2006年

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