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φ200mm氯化钙晶体主长和性能的研究

范志达  刘有臣  
【摘要】:正氟化钙晶体(CaF_2)属立方晶系。与其它几种光学材料相比,氟化钙有较宽的透射范围,在深紫外、近紫外、可见光和红外波段都有很高的透过率。因此,氟化钙作为一种较理想的光学窗口材料一直广泛应用于军事装备、空间技术、环境科学等领域的光学仪器仪表中。在半导体光刻、大视场紫外红外搜索、跟踪或制导仪等设备中需要使用φ200mm以上的大尺寸氟化钙晶体,并要求大尺寸氟七钙晶体有高的光学质量和低的应力。本文介绍了采用石墨电阻加热坩埚下降法生长大尺寸

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