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TiO_2薄膜结构及氧敏性研究

徐艳姬  徐明霞  谢少桥  徐廷献  
【摘要】:正利用溶胶-凝胶技术制备了TiO_2氧敏薄膜,通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰,以期在空气气氛下烧成获得氧敏性和R—T稳定性好的氧敏薄膜。结果表明:600~800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型,随着温度升高锐钛矿减少,900℃时锐钛矿相的峰基本消失。800℃下处理的薄膜灵敏度明显地高于600℃和900℃下处理的薄膜灵敏度。认为是由于锐钛矿钛氧八面体扭曲较金红石严重,结构的热力学稳定性较小,表面较活泼,有利于TiO_2薄膜表面发生微量氧化还原反应,从而提高了表面反应活性;同时结构较稳定的金红石相作为TiO_2薄膜的骨架,有利于TiO_2薄膜的氧化

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