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EBPVD制备复合多层结构材料中残余应力的数值模拟

史丽萍  赫晓东  李垚  
【摘要】:正电子束物理气相沉积技术(EBPVD)是以电子束作为热源的一项较新的技术,它具备低杂质含量,结构、晶粒可控,成分组织均匀,具有物料沉积速率高、膜层致密、柱状多晶体的显微结构以及热效率高的优点。采用该工艺制备复合多层结构材料在国内尚属首次。文中将简单介绍EBPVD沉积复合多层结构的工艺过程,在实验过程中选择两种不同的材料体系,一是金属/陶瓷体系,一是金属/金属体系。在沉积过程中,气体原子在基板上沉积成晶体,而每层晶体的生长过程是一个瞬态降

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