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铀表面脉冲辉光等离子氮化研究

陈林  王庆富  白彬  刘柯钊  钟永强  
【摘要】:采用脉冲辉光等离子氮化技术对贫铀进行了表面氮化处理,采用俄歇电子能谱(AES)对氮化层进行元素深度剖析,采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对氮化层组织结构进行了分析表征。结果表明:脉冲偏压-900V、工作氮分压50~100Pa、氮化时间2.5~4h下在贫铀表面能获得约20μm厚的氮化层,氮化层为U2N3的单一立方结构且均匀致密,脉冲辉光等离子氮化技术能在贫铀表面实现氮化。

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