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一种薄型模态转换型微超声波电机

曲建俊  王志峰  
【摘要】:设计了一种新型的超薄型微超声波电机,该微电机定子是一个带有4个斜齿的扁圆环,在交流电压的激励下圆环做驻波振动,4个斜齿将径向振动转换成转子的旋转运动,属于模态转换型。此种电机定子厚度小,适合采用传统的线切割加工,加工要求低。加工出来的定子尺寸仅6.5mm×6mm,厚1mm。电机的工作频率为50.5kHz,在激励电压为300Vpp时,空载转速为320r/min,堵转力矩为5.5uNm。

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