收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MEMS及微机械加速度计可靠性研究

许建军  孔学东  李斌  师谦  
【摘要】:由于MEMS器件的应用日益频繁,MEMS可靠性研究就显得十分重要。文中介绍了引起可靠性问题的方面。最后以微机械加速度计为例,指出了微加速度计的可靠性问题,以及对其可靠性测试研究的内容。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 蒋庆仙;;关于MEMS惯性传感器的发展及在组合导航中的应用前景[J];测绘通报;2006年09期
2 田文超,贾建援;MEMS微梁粘附“突陷”静力分析[J];机械科学与技术;2005年01期
3 张俊杰;宁敏东;;差分式微电容加速度计的数学模型及应用[J];洛阳师范学院学报;2006年05期
4 赵晓峰,温殿忠;MEMS研究与发展前景[J];黑龙江大学自然科学学报;2002年01期
5 段润保,赵砚江,毛言理;微机械(MEMS)与微细加工技术[J];河北理工学院学报;2004年02期
6 霍鹏飞,马炳和,苑伟政;一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法[J];机械科学与技术;2005年02期
7 明安杰;李铁;周萍;王跃林;;大位移低电压的静电MEMS驱动器(英文)[J];半导体学报;2008年09期
8 苏维嘉;张澎;;基于嵌入式实时操作系统的动态数显倾角仪[J];工业控制计算机;2009年07期
9 倪烨;张怀武;钟智勇;;MEMS加速度计的发展趋势研究[J];硅谷;2010年19期
10 凌坚,万江文;一维MEMS微镜静电弹性耦合[J];微纳电子技术;2004年10期
11 林静,黄元庆;MEMS光开关的静电驱动技术[J];中国仪器仪表;2005年06期
12 唐立军;李倩;张开锐;;一种新型MEMS倾角仪的设计及测试[J];测试技术学报;2009年03期
13 袁哲俊;胡忠辉;谢大纲;;微加速度传感器的新进展[J];纳米科技;2004年04期
14 林栋;甘志银;汪学方;王成刚;张鸿海;刘胜;;基于熔焊的MEMS真空封装[J];电子工业专用设备;2006年10期
15 刘锦;;微机电系统技术的发展趋势研究[J];机电产品开发与创新;2008年04期
16 满仲鹏;陈智刚;岳连永;;八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析[J];弹箭与制导学报;2008年04期
17 罗均 ,谢少荣 ,龚振邦;面向MEMS的微细加工技术[J];电加工与模具;2001年05期
18 余丹铭,梁利华,许杨剑;微电子机械技术的研究和发展趋势[J];电子机械工程;2005年01期
19 李仁锋;吴嘉丽;谭刚;;多晶硅薄膜厚度测量技术[J];计量与测试技术;2006年04期
20 姚占朝;苑伟政;邓进军;马炳和;姜澄宇;;一种微气泡型MEMS作动器研究[J];航空精密制造技术;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 许建军;孔学东;李斌;师谦;;MEMS及微机械加速度计可靠性研究[A];第十一届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2005年
2 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
3 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
4 初建朋;郭方敏;赖宗声;;MEMS接触式开关的计算机模拟[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
5 石雄;刘娅;李捷;;基于系统级封装技术的车用压力传感器[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)[C];2008年
6 白占元;徐皑冬;;基于MEMS的倾角测量仪设计[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(一)[C];2007年
7 陈兴;崔大付;刘长春;李辉;耿照新;;基于MEMS技术的细胞分离芯片的研究[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
8 谢兴军;;MEMS微波开关的设计与仿真[A];中国工程物理研究院科技年报(2003)[C];2003年
9 邓科;郭涛;苏娟;郭等柱;刘璐;陈徐宗;汪中;;CPT微型原子钟研究进展[A];2009全国时间频率学术会议论文集[C];2009年
10 吕树海;罗蓉;杨拥军;吕苗;;SDB技术在MEMS加速度计中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 范玉;基于MEMS的全固态双增益阿达玛光谱仪关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
2 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
3 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
4 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
5 赵江铭;横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究[D];上海大学;2006年
6 史玲娜;基于LED照明的MEMS光栅光调制器的光学投影系统分析与设计[D];重庆大学;2009年
7 许晓慧;基于PZT厚膜的MEMS微变形镜[D];中国科学技术大学;2008年
8 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
9 杜小振;环境振动驱动微型压电发电装置的关键技术研究[D];大连理工大学;2008年
10 刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
2 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
3 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
4 夏雪松;1.55微米激光MEMS扫描外差干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
6 李艳梅;四梁双层结构压阻式硅微加速度计的研究[D];长春理工大学;2006年
7 陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
8 胡春光;利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动[D];天津大学;2004年
9 汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
10 常洪龙;基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究[D];西北工业大学;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978