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氮化铝共烧基板表面焊盘的研究

杨邦朝  胡永达  蒋明  张浩  崔嵩  张经国  
【摘要】:本文研究了在AlN多层布线共烧基板中,采用Ni作为添加剂的表面焊盘浆料体系中SiO2含量对共烧基板烧结性能的影响。结果表明SiO2的质量分数在0.3%时,AlN多层布线共烧基板的焊接强度达到42MPa,基板的翘曲度小于50μm/50mm。

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