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二维PSD在激光对中系统中的应用及其误差分析

程泉  李忠科  
【摘要】:本文介绍了二维光电位置敏感器件(Position Sensitive Detector简称PSD)的结构特点和性能指标。给出了基于光斑位置传感技术的LD-PSD-直角棱镜对中仪结构方案,并建立了测量过程的数学模型。结合激光对中系统的测量实验,分析了PSD自身结构、光源、背景光和后续电路对光斑定位特性的影响,为提高激光对中仪的精度提供了依据。

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