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免清洗大直径内层透明电弧石英玻璃坩埚

欧阳葆华  刘俊龙  
【摘要】:正一、前言拉制单晶硅用大直径石英玻璃坩埚,目前国内的传统产品(8英寸以上)都是不透明的。90年代初期,随着大规模集成电路的不断发展,对拉制单晶硅生产中使用的坩埚有新的要求,它要求内层光洁透明,无杂点、气泡,外壁乳白, 中间呈明显夹层结构,且尺寸要求也越来越大,目前,国内在这项技术方面还

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