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3M~3电热真空氮气炉设计探讨

刘群  
【摘要】:本文主要介绍工程陶瓷材料-氮化硅(Si_3N_4)的合成方法及设备,重点探讨了常用烧结方法和移动钟罩式真空炉的主要结构性能及设计特点。

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