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多表面干涉条纹中相位信息的提取

石琦凯  邓燕  柴立群  
【摘要】:提出了一种基于波长调谐相移技术的多表面干涉相移算法。从实际应用的角度出发,详细推导了利用离散傅立叶变换从多表面干涉条纹中进行信息分离的具体过程。以菲索干涉仪测量平行平板为例,给出了实际测量参数的计算方法及选取原则。解决了光学平板面形测量中因多表面干涉现象干扰影响测量精度的问题。并通过对一块15mm厚的玻璃平板的测量实验,对算法的有效性进行了验证。实验表明.使用多表面干涉相移算法有效克服了多表面干涉的影响,简化了平板类元件的测量过程。

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