MEMS超声传感器:进展与未来

【摘要】：正静电超声传感器发明的历史可追溯到20世纪30年代,1980年代末用微加工技术制作,近几年已将微机械结构与微电子电路集成为微机电系统(MEMS)。MEMS超声传感器的核心技术是微气隙-膜结构的加工。目前已报告了几种成功的表面微加工方法,膜片用LPCVD或PECVD氮化硅或用多晶硅,牺牲层用氧化硅或聚合物。近来也加

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	杜孟超;谷立臣;;基于ZigBee技术的塔机无线传感网络的设计[J];自动化与仪表;2011年07期
2	邓知辉;罗坚;;竞赛机器人的设计与实现[J];电子制作;2011年09期
3	米燕;于正永;;基于嵌入式微控制器的汽车自动化安全控制[J];电脑知识与技术;2011年15期
4	刘尧;;教育移动机器人路径规划技术研究[J];电子科技;2010年S1期
5	刘罡;刘玉斌;赵杰;朱磊;;基于可视切线图的新型煤矿救援机器人路径规划[J];吉林大学学报(工学版);2011年04期
6	张海鹰;高艳丽;;超声波测距技术研究[J];仪表技术;2011年09期
7	刘璐;;超声数据传送系统[J];仪器仪表用户;2011年04期
8	侯艳丽;;基于支持向量机和Q学习的移动机器人导航[J];计算机工程与应用;2011年23期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	葛立峰;邵晋平;;MEMS超声传感器:进展与未来[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策（下册）[C];2002年
2	胡贵池;;机器人导航中的超声传感器障碍检出[A];1997中国控制与决策学术年会论文集[C];1997年
3	张德治;霍伟;;基于交替发射及滑模平滑的超声数据处理研究[A];2005中国控制与决策学术年会论文集（下）[C];2005年
4	张乐杰;杨国胜;侯增广;谭民;;基于融合和人工势场的自主移动机器人路径规划研究[A];第16届中国过程控制学术年会暨第4届全国故障诊断与安全性学术会议论文集[C];2005年
5	毛勇;李实;王家钦;赵雁南;;符合RoboCup中型组标准的全自主智能移动机器人平台开发[A];2004中国机器人足球比赛暨学术研讨会论文集[C];2004年
6	陈笑然;阎兆立;陈杰;程晓斌;李晓东;;水泵空化的超声主动探测方法[A];泛在信息社会中的声学——中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2010年
7	葛立峰;;声和超声现象测量的进展:世纪之回顾与展望[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展（上册）[C];1999年
8	马宏伟;尚利歌;冯伟;;超声测距技术在移动机器人视觉系统中的应用[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（1）[C];2008年
9	王璇;申晓红;闫永胜;;基于多传感器的导盲避碰系统设计[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
10	谭向宇;杨卓;王达达;赵现平;张少泉;王科;张微;;基于超声信号分布特性的GIS绝缘检测技术现场应用[A];2011年云南电力技术论坛论文集（优秀论文部分）[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	孙平;高频医学超声成像系统的研究与设计[D];武汉大学;2009年
2	国世上;电子辐照铁电共聚物P（VDF-TrFE）及超声传感器的研究[D];武汉大学;2004年
3	卢涛;光声技术在生物医学成像中的应用基础研究[D];天津大学;2007年
4	张慧;非平膜电容式微型超声波传感器研究[D];天津大学;2010年
5	李秋锋;混凝土结构内部异常超声成像技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
6	王振亚;垂直上升油水及油气水多相流流动参数测量方法研究[D];天津大学;2010年
7	燕学智;近场无线定位算法及超声定位AGV技术研究[D];吉林大学;2008年
8	郭纲;基于双指数模型的超声定位算法及其应用研究[D];吉林大学;2008年
9	李敏;液体电介质局放声测的光纤非本征法珀型传感器的研究[D];哈尔滨理工大学;2009年
10	王薇;轮式移动机器人的运动控制研究[D];北京邮电大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	宛克敬;集成超声传感阵列的设计与测试[D];中北大学;2012年
2	唐伟坤;超声膜厚测量机理及传感器研究[D];南京航空航天大学;2011年
3	范筝;超声传感器与无线网络在松香生产中的设计与应用[D];昆明理工大学;2010年
4	汤士忠;两相流测量超声传感器的研究与设计[D];天津大学;2012年
5	汪钱纯;光纤光栅检测超声波系统设计[D];浙江大学;2005年
6	丁战阳;用于聚合物混合状态在线检测的超声传感器研究[D];中北大学;2009年
7	孙明明;超声导航移动机器人关键技术的研究[D];浙江大学;2005年
8	邢国芬;基于多传感器信息融合的移动机器人环境感知研究[D];河北工业大学;2008年
9	武晓冬;基于数字信号处理器的超声自动无损检测技术研究[D];北京化工大学;2006年
10	王菲;电容式微加工超声传感器的建模与仿真[D];天津大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者郑千里;百毒不侵机器人将赴抗非一线[N];科技日报;2003年
2	施战辽汪卫国周立辉;一次充电连续工作四小时[N];华东电力报;2010年
3	上海苏成富;超声波传感器及其应用（上）[N];电子报;2008年
4	唐志国李成榕王伟;变压器局放检测的现状与新技术[N];中国电力报;2004年
5	;汽车防盗体系[N];中国汽车报;2002年
6	骆立实李成榕;活力四射的变压器新技术[N];中国电力报;2004年
7	吉尔编译;超声波让父母亲密接触胎儿[N];大众科技报;2002年
8	大有;跳动的地雷[N];中国知识产权报;2000年
9	徐铮奎;微型化技术引领植入式医疗器械及其元器件发展[N];中国医药报;2008年
10	中国电子科技集团公司第四十九研究所亢春梅耿振亚马力;国外传感器市场分析及展望[N];中国电子报;2004年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南