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MEMS超声传感器:进展与未来

葛立峰  邵晋平  
【摘要】:正静电超声传感器发明的历史可追溯到20世纪30年代,1980年代末用微加工技术制作,近几年已将微机械结构与微电子电路集成为微机电系统(MEMS)。MEMS超声传感器的核心技术是微气隙-膜结构的加工。目前已报告了几种成功的表面微加工方法,膜片用LPCVD或PECVD氮化硅或用多晶硅,牺牲层用氧化硅或聚合物。近来也加

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