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GaAs薄膜的电化学制备研究

涂洁磊  施兆顺  陈庭金  苏红兵  张跃  
【摘要】:正采用电化学方法制备GaAs薄膜,并使其最终能够成为可以利用的半导体材料,特别是太阳电池的基体材料,是达到大幅度降低半导体器件原料成本和工艺成本的有效途径之一,从而使半导体器件(如太阳电池)得到更加广泛应用。

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